▶ 국내 유수의 글로벌 디스플레이 기업과 양산성 검증 완료, 대규모 공급

▶ 반도체에 이어 디스플레이 분야에서도 수율 향상 기술력 입증

▶ 디스플레이 고진공 공정 내 제전 핵심 장비로 자리매김및 시장 확대 기대

<2023-10-24> 반도체 등 첨단 산업의 제품 수율 향상 솔루션을 제공하는 저스템(417840, 대표이사 임영진)이 국내 유수의 글로벌 디스플레이 기업과 55억 원 규모의 수율 개선 제전장비 공급계약을 체결했다고 24일 밝혔다.

저스템이 공급하는 고진공 이오나이저시스템(VIS: Vacuum Ionizer System)은 OLED 제조공정에서발색 및 발광용 유, 무기재료를 고열로 증착하는 공정 전후에 발생하는 정전기를 제거해 제품의 신뢰성을높이는 장비다. 계약 금액은 55여억 원이며 기존 제전장비의공급 규모로 볼 때 대형 발주에 해당된다.

저스템은 지난 2022년부터국내 유수의 글로벌 디스플레이 기업과 협업을 통해 VIS 장비의 양산성 검증을 해 왔고 이번에 OLED 패널 제조 양산라인에 공급하게 됨으로써 디스플레이 분야에서도 수율 향상의 높은 기술력을 입증 받았다. 저스템은 VIS가 OLED 제조공정에서정전기 제어에 필요한 필수 장비가 될 것으로 기대하고 있어 향후 VIS의 본격적인 추가 수주와 시장확대도 전망하고 있다.

반도체 및 디스플레이 제조공정에서 발생하는 정전기는 필수 해결과제다. 기존의 제전 방식과 달리 저스템의 VIS는 고진공 환경에서 순수하게이온만을 생성해 웨이퍼나 Glass의 유, 무기물 증착 표면을최대한 손상 없이 제전 할 수 있는 장비다. 고진공 환경의 공정 내 추가적인 Gas 공급이 필요 없어 압력이 변동되지 않고 빛이 발생하지 않는 이온화 제전 방식이어서 OLED 표면 손상을 최소화해 기존 공정 환경에 영향을 주지 않고 효율적으로 정전기를 제거할 수 있다.

특히, 차세대 디스플레이분야의 소자 고집적화 및 고휘도 제품의 고진공 공정 환경 내 제전을 위한 핵심 장비로도 사용이 가능하다.

저스템 기술연구소 하정민 부사장은 "반도체에 이어 디스플레이 분야에서도 최고의 수율 향상 솔루션을 시장에 공급하게 돼 기쁘다“며 “고해상도 OLED 제조공정에서제전 기술이 더욱 중요해지는 만큼 저스템의 기술력이 높이 평가받을 것이다”고 말했다.

저스템은 반도체 분야뿐만 아니라 최근 2차전지, 디스플레이, 태양광등 첨단사업분야에도 수율 향상을 위한 제품을 시장에 공급하며 사업 다각화를 활발히 전개하고 있다.